選擇標(biāo)準(zhǔn)：

選用滲透性小、出氣速率低、吸附性差的材料：目前超大規(guī)模及城電路前工序高純氣體輸送系統(tǒng)管道材料采用不銹鋼光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不銹鋼電拋光管（SS316L-EP）等，但是對要求控制高純氣體中總雜質(zhì)含量<=1.0*10-6 及以下的管材應(yīng)用SS316L-EP管。

注意：

1、管路型式以氣體特性設(shè)計，惰性氣體使用一般的單層管，作為制程用的反應(yīng)氣體，則選用高級別的SS316L-EP管；使用與芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體則選用SS316L-BA管。

2、對于自然爆炸，有劇毒的特種氣體，如硅烷、硼烷、AsH3等則考慮使用雙套管，它的內(nèi)/外管材質(zhì)一般為SS316L-EP/SS316L-AP，此設(shè)計的主要目的有兩點(diǎn)，首先可保護(hù)內(nèi)管直接收到外力撞擊，其次能將內(nèi)管滲漏的氣體阻絕于外管，并利用相關(guān)的檢測設(shè)備檢測，目前常用的設(shè)計有正壓和負(fù)壓兩種方式，負(fù)壓設(shè)計是將內(nèi)外管間抽成真空，正壓設(shè)計則是灌以氮?dú)饩S持正壓，兩者皆可接上壓力表或者壓力報警器檢知泄漏狀態(tài)。