高純氣體是氣體工業(yè)名詞，通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純度的氣體。對(duì)于不同類(lèi)別的氣體，純度指標(biāo)不同，高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬，在半導(dǎo)體工業(yè)，高純氮、氫、氬、氦可作為運(yùn)載氣和保護(hù)氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。高純氣體根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同可以分為有機(jī)高純氣體，和無(wú)機(jī)高純氣體.
序號(hào) | 氣體名稱(chēng) | 純度/% | 主 要 用 途 |
1 | 純氬Ar | ≥99.99 | 冶煉、切割、焊接、電子工業(yè) |
2 | 高純氬Ar | ≥99.999 | 電子管、特種燈泡、真空技術(shù)、ICP發(fā)射光譜儀 |
3 | 純氮N2 | ≥99.99 | 化工、冶金、電子工業(yè) |
4 | 高純氮N2 | ≥99.999 | 科研、電子、機(jī)械行業(yè)、色譜儀、載氣 |
5 | 純氫H2 | ≥99.99 | 金屬冶煉、焊接、國(guó)防工業(yè) |
6 | 高純氫H2 | ≥99.999 | 電子工業(yè)、石油化工、色譜儀、載氣 |
7 | 純氦He | ≥99.99 | 電子工業(yè)、潛水呼吸 |
8 | 高純氦He | ≥99.999 | 色譜儀載氣、電子工業(yè) |
9 | 工業(yè)氧O2 | ≥99 | 鋼材焊接、火焰加工 |
10 | 高純氧O2 | ≥99.95 | 標(biāo)準(zhǔn)氣體的制備、集成電路、科學(xué)研究 |
11 | 工業(yè)氫H2 | ≥99 | 石油、油脂加氫、人造寶石、石英玻璃制造、金屬切割 |
12 | 純氙Xe | ≥99.99 | 電光源工業(yè)、醫(yī)療、電真空、激光行業(yè) |
13 | 高純氙Xe | ≥99.999 | |
14 | ≥99.99 | 電光源工業(yè)、電真空工業(yè) | |
15 | 高純氪Kr | ≥99.999 | |
16 | 純氖Ne | ≥99.99 | 電光源工業(yè) |
17 | 液體二氧化碳CO2 | ≥99.9 | 化工、焊接、制冷、化纖、農(nóng)業(yè)、食品添加劑 |
18 | 高純二氧化碳CO2 | ≥99.999 | 標(biāo)準(zhǔn)氣體的制備 |
19 | 二氧化硫SO2 | ≥99.9 | 醫(yī)藥、科研、制革、排放源檢測(cè) |
20 | 硫化氫H2S | ≥99.9 | 標(biāo)準(zhǔn)氣制備、等離子干刻 |
21 | 一氧化碳CO | ≥99.9 | 標(biāo)準(zhǔn)氣制備、滲碳、標(biāo)準(zhǔn)氣及混合氣裝備 |
22 | 甲烷CH4 | ≥99.9 | 低溫液體洗滌劑標(biāo)準(zhǔn)氣及混合氣制備 |
23 | 乙炔C2H2 | ≥99 | 金屬焊接、切割、加熱燃料、有機(jī)產(chǎn)品原料 |
24 | 丙烷C3H6 | ≥99.9 | 石油化工、醫(yī)學(xué)檢驗(yàn)、標(biāo)準(zhǔn)氣體的制備 |
25 | 乙烯C2H4 | ≥99.9 | 乙烯、丙烯成分分析標(biāo)準(zhǔn)氣體的制備 |
26 | 丙烯C3H6 | ≥99.9 | |
27 | 乙硼烷B2H6 | ≥99.995 | 半導(dǎo)體器件制造中的重要P型摻雜源 |
28 | 磷烷PH3 | ≥99.999 | 半導(dǎo)體器件制造中的重要N型摻雜源 |
29 | 砷烷AsH3 | ≥99.999 | N型摻雜源 |
30 | 硅烷SiH4 | ≥99.999 | 用于制備高純多晶硅 |
