氣體圈子11月11日訊，國(guó)家科技部重點(diǎn)研發(fā)專項(xiàng)——“微納電子制造用超高純電子氣體”項(xiàng)目啟動(dòng)會(huì)昨日在浙江衢州召開(kāi)。
國(guó)家科技部高技術(shù)中心材料處專項(xiàng)主管楊斌向獲得國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)“微納電子制造用超高純電子氣體”的項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)表示祝賀。“國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃實(shí)施以來(lái)，在管理上發(fā)生了很大的改革和變化，已從原來(lái)過(guò)程監(jiān)控管理轉(zhuǎn)變?yōu)槟繕?biāo)管理、靜態(tài)管理變?yōu)閯?dòng)態(tài)管理、階段性管理變成全過(guò)程跟蹤管理。”楊斌強(qiáng)調(diào)，要發(fā)揮項(xiàng)目牽頭承擔(dān)單位法人的主體責(zé)任，與協(xié)作單位共同推動(dòng)項(xiàng)目的發(fā)展。
微納電子制造用超高純電子氣體
研究?jī)?nèi)容：研究超高純電子氣體提純/除雜/純化原理與制備方法、特定元素控制技術(shù)及全流程工藝優(yōu)化集成技術(shù)，研制開(kāi)發(fā)微納電子制造用氯氣、氯化氫、氟化氫等超高純電子氣體，突破5N級(jí)氣體制備技術(shù)及關(guān)鍵裝備技術(shù)、ppm級(jí)氣體雜質(zhì)和ppb級(jí)金屬離子檢測(cè)技術(shù)、生產(chǎn)環(huán)境和顆?？刂萍夹g(shù)以及產(chǎn)品包裝與應(yīng)用技術(shù)。
考核指標(biāo)：超高純氣體氯氣、氯化氫純度5N～7N，其中單種氣體雜質(zhì)（如H2O、O2、CO2、CO、CH4）＜1.0 ppmv，單種金屬雜質(zhì)（如Al、Cr、Cd、Cu）＜1.0 ppbw；超高純氣體氟化氫純度不低于5N，其中單種金屬雜質(zhì)（如Al、Cr、Cd、Cu）＜1.0 ppbw。
微納電子制造核心材料急需國(guó)產(chǎn)化
微納電子先進(jìn)制程正向大尺寸、窄線寬、高集成度、高均勻性和高完整性發(fā)展，對(duì)電子氣體的品質(zhì)也提出更高的要求。Cl?、HCl 和HF 等電子氣體產(chǎn)品是微納電子制造的核心材料，具有強(qiáng)烈嗜水性、腐蝕性和反應(yīng)性，其提純除雜、包裝、檢測(cè)對(duì)材料、設(shè)備的耐蝕性要求嚴(yán)苛，高純制備核心技術(shù)為跨國(guó)公司壟斷并嚴(yán)密封鎖，“國(guó)產(chǎn)化”需求迫切，急需國(guó)內(nèi)有研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化實(shí)力的單位牽頭進(jìn)行技術(shù)攻關(guān)與工程化開(kāi)發(fā)。
科技部重點(diǎn)研發(fā)專項(xiàng)“微納電子制造用超高純電子氣體”
“微納電子制造用超高純電子氣體”是2017年國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“戰(zhàn)略性先進(jìn)電子材料”專項(xiàng)項(xiàng)目，由巨化集團(tuán)下屬全資子公司浙江博瑞電子科技有限公司牽頭，聯(lián)合浙江師范大學(xué)、浙江氟硅技術(shù)研究院、浙江凱圣氟化學(xué)有限公司、中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司、深圳市華星光電技術(shù)有限公司和浙江工程設(shè)計(jì)有限公司等6家單位共同申報(bào)，并于今年8月獲得國(guó)家科技部立項(xiàng)支持，用以解決Cl?、HCl和HF高純制備中影響氣體純度與一致性的關(guān)鍵共性科學(xué)問(wèn)題和技術(shù)瓶頸為研究目標(biāo)，突破Cl?、HCl和HF的提純除雜、檢測(cè)、包裝工藝，實(shí)現(xiàn)超高純Cl?、HCl和HF電子氣體的工業(yè)化制備和制程應(yīng)用，促進(jìn)微納電子制造用戰(zhàn)略性先進(jìn)材料的國(guó)產(chǎn)化。
